7.9.7. Рекристаллизация, спекание и залечивание пор

Возможность перемещения и залечивания пор на границе сра­щивания тесно связана с процессами рекристаллизации и спекания на поздних стадиях термообработки (при высоких температурах), когда возможны процессы вязкого течения (пластической дефор­мации). При этом возможны процессы увеличения размеров пор (разбухание) и их уменьшения (усадка). Для нас интересны про­цессы уменьшения размеров пор в ходе спекания.

Если вдоль дислокации расположена цепочка пор, то, залечива­ясь, эти поры являются источниками вакансий, поддерживая пере­сыщение в области дислокаций. Это приводит к перемещению дис­локаций вместе с залечивающейся порой. Отношение скорости по­ступательного движения поры и скорости изменения ее радиуса имеет порядок величины

. (7.37)

Такой же порядок величины имеет отношение v/R в случае близких значений радиусов пор.

Если поры находятся в кристалле, содержащем большое количе­ство дислокаций, и расстояние между дислокациями значительно меньше радиуса пор, то движение осуществляется за счет меха­низма вязкого течения, описываемого формулой (7.37).

Заметим, что и в отсутствие взаимодействия пор, расположен­ных в однородной вязкой среде, в процессе спекания поры будут сближаться в результате уплотнения среды. Уплотнение при рав­номерном распределении пор происходит во всем объеме однород­ной пористой среды, поэтому любые две поры будут сближаться с относительной скоростью v₁ – v₂, пропорциональной расстоянию между их центрами

, (7.38)

где u_ll – скорость деформации пористого кристалла. На это движе­ние пор, обусловленное усадкой, будет накладываться перемеще­ние, обусловленное упругодиффузионным взаимодействием или броуновским движением.

Кинетика сближения пор в процессе их залечивания в поле уп­ругих напряжений дислокаций изучалась в [12,13] с кристаллом NaCl с порами. В отдельных образцах существовали поры и ан­самбли пор с линейными размерами R ~ 10^-1  10^-2 см. Из-за про­зрачности кристаллов NaCl легко было наблюдать за залечиванием пор. Залечивание пор проводилось при температуре 700 – 750 С в автоклаве под давлением 20  30 кг/см². В указанных условиях де­формирование матрицы происходило при помощи вязкого течения.

Важным в технологии сращивания является удаление и залечивание пор и полостей, пустых и заполненных газом, образующихся на поверхности раздела сращиваемых пластин (см. работы [1–8]). Здесь сразу же следует отметить тот факт, что очень крупные поры и полости с размерами порядка толщины уто­няемого слоя d_ут ~ 10 – 30 мкм вcкрываются в процессе утонения одной из кремниевых пластин.

Возникает задача о движении и залечивании пор и полостей диаметром  30 мкм. Эта задача может быть рассмотрена на при­мере модели, предложенной в [12,13]. Несмотря на приближенный характер самой модели, решение задачи дает возможность оценить порядок величин времен движения и залечивания пор и полостей.

Рассмотрим процесс залечивания пор, основанный на теории изменения объема и формы поры и движения ее центра тяжести вблизи границы утоненного слоя кремния, обусловленного объем­ной диффузией вакансий. Объемные потоки вакансий, направлен­ные от поры или к поре в бесконечном кристалле, приводят к ее симметричному залечиванию или же к росту [12,13]. Скорость из­менения объема поры  или ее радиуса R в кристалле бесконечных размеров с равновесной концентрацией вакансий на бесконечном расстоянии равна [12,13]

(7.39)

и определяется коэффициентом объемной диффузии атомов D и разностью давления газа в поре Р₀ и лаплассовского давления P_L = – 2/R, где  = 10³ эрг/см² – коэффициент поверхностного на­тяжения. Здесь  = 1/N₀, N₀ – число атомов в 1 см^-3; k_B – постоянная Больцмана, Т – температура, t – время. В случае конечного рас­стояния от поры до границы L скорость движения центра тяжести поры дается выражением [12,13]

, (7.40)

где – вектор нормали к поверхности поры. Из формулы (7.40) следует, что пустые поры (P = –2/R) должны двигаться от границы кристалла, а поры, заполненные газом, давление которого превы­шает лапласовское давление (Р>0) – к границе (см. выше).

В рассматриваемом случае малых величин R/L скорость (7.40) значительно меньше (примерно в (L/R)² раз) скорости изменения среднего радиуса dR/dt [12, 13]. Поэтому за время залечивания поры с Р<0

; P = P_L (7.41)

она успевает уйти от границы сращивания в глубь неутонченной подложки на расстояние порядка R₀(R₀/L₀)², значительно меньшее, чем ее радиус R₀. Здесь R₀ – начальный радиус сферической поры.

Радиус поры с ее положительным давлением Р > 0 увеличива­ется и одновременно ее центр тяжести перемещается в сторону гра­ницы. За время

, , (7.42)

в течение которого происходит увеличение радиуса поры до значе­ния ~ L₀ и передний участок поры достигает границы кристалла (поверхности утонченного слоя), центр тяжести такой поры также сместится на расстояние, сравнимое с L₀. Здесь L₀ – начальное рас­стояние от центра сферической поры до границы кристалла.

Оценим по формулам (7.41), (7.42) порядок величин времен за­лечивания пор с различными значениями R₀(L₀). Пустые поры (Р < 0) движутся от границы сращивания в глубь неутонченной подложки и их радиус уменьшается, стремясь к нулю. Оценки по формуле (7.41) при  ~10^-23 см³, k_B = 1,3810^-16 эргK^-1, Т = 1200 К, D ~10^-8 см ²/с [12, 13] дают: для радиуса поры R₀ = 1 мкм = 10^-4 см, _r(1,0 мкм) = 414 с = 0,115 ч; для радиуса R_{0 =} 10 мкм = 10^-3 см, _r(10 мкм) = 4,1410⁵ с = 115 ч и для радиуса R₀ = 30 мкм = 3 10^‑3 см, _r(30 мкм) = 1,110⁷ с = 3090 ч. Поры с газом (Р > 0) дви­жутся от границы сращивания к поверхности утоненного слоя и их радиус увеличивается до значения R₀ ~ L₀ (L₀ – расстояние от цен­тра поры до границы кристалла); после чего пора вскрывается. Оценки _L по формуле (7.42) при   10^-23 см³, k_B = 1,3810^-16 эргК^-1, Т = 1200 К, D ~10^-8 см²/с дают: для L₀ ~ R₀ = 1,0 мкм = 10^-4 см, _L(1,0 мкм) = 828 с = 0,23 ч; для L₀ ~ R₀ = 10 мкм = 10^-3 см, _L (10 мкм) = 8,2810⁴ с = 23 ч и для L₀ ~ R₀ = 30 мкм = 310^-3 см, _L(30 мкм) = 7,4510⁵ с = 207 ч. Из этих оценок _ч и _L следует, что эти величины резко зависят от R₀ и L₀ . В частности, очень малые поры с размерами R₀  1 мкм залечиваются за время  1 ч, а поры с размерами R₀  10 мкм – за время в несколько десятков часов. Очень большие времена залечивания свойственны порам с R₀  30 мкм.

Далее наши оценки показали, что при низких температурах тер­мообработки (Т  100 С) скорости движения v пор (микрополос­тей) резко уменьшаются, а времена залечивания  увеличиваются на много порядков величин. Отсюда следует, что при комнатной температуре времена залечивания  очень велики, а скорости дви­жения v очень малы, так что поры можно считать практически не­подвижными. Экспериментальные данные, приведенные в [1–8], подтверждают эти выводы теории.

В заключение отметим, что те же самые порядки величин скоро­стей движения и времен залечивания свойственны и включениям второй фазы (частицы пыли, преципитаты различных металлов, кремния и т.д.) на границе раздела сращиваемых пластин кремния.

Таким образом, рассмотренные особенности сращивания пла­стин кремния и залечивания пор и полостей на границе раздела сращивания, несомненно, способствуют лучшему пониманию тех­нологического процесса получения качественных структур "крем­ний на диэлектрике". Проведенные оценки характерных времен различных стадий процесса имеют, в свою очередь, практическую значимость при проведении процесса в целом.