Основные части электронного микроскопа и их назначение.

Электронный микроскоп является сложным устройством, состоящим из различных частей (систем), каждая из которых имеет свое назначение. Этими частями являются электронно-оптическая система, вакуумная система, система высокого напряжения, система управления и автоматизации.

Наиболее важной частью микроскопа является колонна, заключающая в себе электронно-оптическую систему. В состав последней входят осветительная система (электронная пушка), камера объектов, фокусирующая система и фотографическая камера. Электронный пучок в колонне электронного микроскопа формируется с помощью электрического и магнитного полей, которые действуют подобно линзам.

Электронный пучок существует только в высоком вакууме. Длина свободного пробега электронов при напряжении 60 кэВ в воздухе при атмосферном давлении равна всего . С помощью вакуумной системы в колонне создается остаточное давление . При этом давлении длина свободного пробега электронов составляет 1,5 м.

С помощью системы высокого напряжения создается ускоренный пучок электронов. В современных электронных микроскопах применяется высокое напряжение до 150 кВ. Большое значение имеет стабильность высокого напряжения, которая обеспечивается применением электронных стабилизаторов.