Типы электронных микроскопов.

По способу исследования электронные микроскопы делятся на просвечивающие, отражающие, эмиссионные и сканирующие (растровые). Принцип действия просвечивающего микроскопа рассмотрен выше.

В настоящее время для изучения поверхности различных объектов широко применяются сканирующие электронные микроскопы. В этом случае не требуется специального препарирования образца, что исключает изменение структуры образца при препарировании и наблюдение ложной структуры (артефактов). Сканирующий микроскоп применяется для получения изображения поверхностей непрозрачных объектов. В отличие от просвечивающего микроскопа, в сканирующем микроскопе изображение формируется за счет вторичных электронов. Вторичные электроны, исходящие с поверхности объекта под действием электронного пучка, улавливаются и усиливаются. Электронный пучок, имеющий диаметр , с помощью отклоняющих систем перемещается по зигзагу, то есть сканирует поверхность образца. Изображение на экране формируется так же, как в телевизоре, отчего микроскоп называется сканирующим. В сканирующем микроскопе диэлектрические материалы непосредственно исследоваться не могут, так как на их поверхности накапливается заряд, мешающий получению изображения. На такие материалы напыляют тонкий проводящий слой, чаще всего золота. Сканирующие микроскопы позволяют получить большую глубину резкости, достигающую 10^-6 м при увеличении в 1000 раз и выше. Поэтому удается получить объемные изображения исследуемых образцов. С помощью сканирующего микроскопа можно проводить электронно-зондовый анализ, то есть характеризовать распределение элементов в образце.