69) Метод Чохральского.
Методом Чохральского называется метод вытягивания из расплава.
В тигель 7 с расплавом 2 опускают монокристаллическую затравку 4 (кусочек монокристалла, вырезанного в требуемом кристаллографическом направлении), выдерживают ее в расплаве, пока не оплавится. После этого, вращая шток 5, затравку медленно поднимают. За затравкой тянется жидкий столбик расплава, удерживаемый поверхностным натяжением. Попадая в область более низкой температуры над поверхностью тигля, расплав затвердевает, образуя целое с затравкой, и кристаллизуется, повторяя кристаллическую структуру затравки, в растущий монокристалл 6. Плавка полупроводника осуществляется в индукционной печи 8, температура контролируется термопарой 7. Для визуального контроля за процессом используют технологическое окно 3. Для обеспечения более равномерного роста слитка в процессе его выращивания тигель и затравку вращают с помощью штоков 9 и 5 в противоположных направлениях.
70) Метод зонной плавки.
В методе зонной плавки процесс проводится в реакторе 1, где в специальном кварцевом тигле 2 (в форме лодочки) помещен слиток 3. Через реактор непрерывно прокачивается защитный газ. Нагревателем 4 в слитке создается узкая расплавленная зона 5. Перемещение расплавленной зоны происходит в результате движения каретки 6, на которой установлен нагреватель. Расплавленная зона перемещается вдоль кристалла, захватывает примеси и уносит их в хвостовую часть слитка.
Метод основан на неодинаковой растворимости примесей, находящихся в жидкой и твердой фазах.
- 2. Классификация полимеров по структуре.
- 3. Классификация полимеров по молекулярной массе.
- 4. Молекулярная и надмолекулярная структура полимеров.
- 5. Типология полимеров.
- 6. Понятие о сополимерах.
- 7. Термопластичные полимеры. Примеры
- 8. Термореактивные полимеры. Примеры.
- 9. Пэнп и пэвп.
- 19. Основные разновидности промышленных полимеров и пластмасс.
- 20. Элементоорганические полимеры.
- 21. Термомеханические свойства и термомеханическая кривая.
- 22. Понятие о пластмассах.
- 23. Неорганические полимеры. Углерод. Алмаз.
- 24. Аморфные полимеры. Примеры.
- 25. Графит. Углеграфитовые материалы.
- 26. Аллотропные модификации углерода.
- 27. Твердость полимеров. Определение твердости по Бринеллю, по Роквеллу, по Виккерсу.
- 30. Графен. Фуллерены.
- 31. Слюда. Асбест.
- 32. Силикаты. Классификация. Тройная диаграмма.
- 33. Керамика. Технология керамики.
- 34. Классификация керамических материалов.
- 35. Порошковые графиты.
- 36. Керамика. Огнеупоры.
- 38. Стекло. Состав, структура.
- 41. Оптические и электрические свойства стекол.
- 42. Получение стекол.
- 44. Упрочение стекол, в т.Ч. Термическое.
- 45. Химическая стойкость стекол.
- 46. Применение стекол.
- 48. Классификация композиционных материалов (км) по виду матрицы.
- 49. Металлические матрицы км.
- 50. Полимерные матрицы км.
- 52. Классификация композиционных материалов по виду наполнителя:
- 53. Наполнители зернистые естественные.
- 54. Металлические порошки в качестве наполнителей км.
- 55. Технический углерод, аэросил в качестве наполнителей км.
- 61) Нитевидные кристаллы
- 62) Направления повышения прочности материалов
- 63) Элементарные полупроводники
- 64)Характеристика Кремния.
- 65)Характеристика Германия
- 66)67)68) Основные требования к полупроводниковым материалам.Сравнительная характеристика основных методов получения монокристаллов.Методы кристаллизации из расплава. Коэффициент сегрегации.
- 69) Метод Чохральского.
- 71) Методы кристаллизации из газовой фазы. Эпитаксия.
- 72) Формирование кремниевых эпитаксиальных пленок.
- 73) Метод получения р-n перехода
- 74) Основные подходы в планетарной технологии
- 75) Схема изготовления кремневого резистора
- 76) Бестигельная зонная плавка кремния.
- 77) Требования к подложкам. Получение защитных пленок.
- 78) Маркировка кремния. Акцепторы. Доноры. Поликристаллический кремний.
- 79) Полупроводниковые соединения. Принципы классификации.