logo search
Materialovedenie

78) Маркировка кремния. Акцепторы. Доноры. Поликристаллический кремний.

Поликристаллический кремний. Пленки из нелегированного поликристаллического кремния имеют относительно высокое удельное электросопротивление (104-106 Омм) из-за рассеяния носителей заряда на границах зерен. Такие пленки в сочетании с пленками из SiO2 используются в качестве межэлементной электрической изоляции в производстве ИМС.

Маркировка. Маркируется кремний подобно германию, например: КЭФ 15,0/0,3 – кремний с электронной проводимостью, легированный фосфором,  = 15  10-2 Омм, L = 0,310–3 м. Типичными акцепторными примесями являются элементы III В-подгруппы (бор, алюминий), донорными – V B-подгруппы (фосфор, мышьяк, сурьма).