2.1.1. Процессы микролитографии,
основанные на позитивных резистах
Итак, микролитографические процессы, основанные на использовании позитивных резистов, заключаются в формировании изображения за счет удаления с поверхности кремниевой пластины экспонированных участков полимерного резиста. Это может быть достигнуто как результат одной из следующих трансформаций, реализуемых в слое резиста при экспонировании:
1. Превращение малополярного полимера в высоко-полярный, сопровождающееся значительным изменением его растворимости.
2. Значительное уменьшение степени полимеризации полимера, также сопровождающееся изменением растворимости полимера на экспонированных участках.
3. Превращение типа полимер — мономер (деполимеризация).
В настоящее время в микролитографических процессах сравнительно невысокого разрешения (с размером линий несколько микрон) в качестве резистов используются феноло-формальдегидные смолы и полиметилметакрилат. Оба эти полимера давно и хорошо изучены и исторически являются первыми позитивными резистами, использованными в микролитографии.
- Санкт-петербургский государственный университет
- 1.1. Деформационные характеристики полимеров
- 1.1.1. Температурные характеристики полимеров.
- 1.1.2. Деформация полимерных тел
- 1.1.3. Деформационные характеристики
- 1.2. Прочностные свойства полимерных тел.
- 1.2.1. Общая характеристика процессов
- 1.2.2. Зависимость прочности от различных факторов. Ориентированное состояние полимеров
- 1.3. Краткие сведения о переработке
- 2.1. Полимерные резисты
- 2.1.1. Процессы микролитографии,
- 2.1.1.1. Позитивные резисты на основе
- 2.1.1.2. Позитивные резисты на основе фотодеградируемых полимеров
- 2.1.1.3. Позитивные резисты, основанные на
- 2.1.2. Негативные резисты
- 2.2. Использование полимеров в других
- 3.1. Классификация полимерных носителей
- 3.2. Синтез полимерных носителей
- 3.2.1. Синтез носителей с формированием их
- 3.2.2. Введение функциональных групп
- 3.2.3. Получение носителей сшивкой готовых макромолекул
- 3.3. Некоторые примеры использования
- 3.3.1. Синтез пептидов на полимерных носителях
- 3.3.2. Полимерные реагенты в синтезе пептидов
- 3.3.3. Полимерные реагенты в органическом синтезе
- 3.3.4. Другие примеры использования полимерных носителей
- 4.1. Общие сведения о биополимерах и полимерах медицинского назначения
- 4.2. Полимеры медико-технического назначения
- 4.3. Полимеры, предназначенные для введения в организм
- 4.3.1. Полимеры, используемые в восстановительной хирургии
- 4.3.2. Полимеры направленного биологического действия
- 4.4. Полимерные материалы для функциональных узлов медицинских аппаратов
- 5.1. Общие сведения о мембранной фильтрации
- 5.2. Способы изготовления и особенности структуры
- 5.3. Основные типы мембранной фильтрации
- 5.4. Газоразделительные мембраны
- О г л а в л е н и е
- Глава 1. Механические свойства и переработка полимеров в изделия . . . . . . . . . 8
- Глава 2. Полимеры в микроэлектронике. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
- Глава 3. Полимерные сорбенты и носители . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
- Глава 4. Полимеры в медицине и биологии . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 103
- Глава 5. Полимерные мембраны . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118