Введение

В курсовой работе были получены термодинамические характеристики плавления трис-2,2,6,6-тетраметил-4-фторгептан-3,5-дионат скандия. Это вещество используется для получения оксида скандия, имеющего широкое применение в электрофизике:

1. Пленки оксида скандия обладают высокой механической прочностью, хорошей адгезией к поверхности кремния и кварца и не царапаются стальной иглой;

2. Исследования оптических свойств оксида скандия показало перспективность использования пленок оксидов гольмия и скандия в качестве просветляющих покрытий кремниевых фотоэлектрических преобразователей [1];

3. Оксид скандия используется в качестве примеси в оксид циркония, что позволяет увеличить прочность данного материала и уменьшить температуру плавления для использования оксида циркония в производстве твердооксидных топливных элементов [2];

4. В структурах металл-диэлектрик-полупроводник диэлектрические пленки из ОРЗЭ характеризуются высокой химической и термической стойкостью, большими значениями диэлектрической проницаемости (е = 8-20) и удельного сопротивления.

Одним из способов получения функциональных покрытий на основе металлов и оксидов металлов, в частности, скандия и оксида скандия, является метод химического осаждения из газовой фазы (английская аббревиатура - CVD). Суть метода заключается в том, что соединение, обладающее значительным давлением пара при определённой температуре, переводится в газовую фазу, а затем подвергается термическому распаду на нагретой подложке. Перед применением тщательно изучаются химические и физические свойства исходного соединения. Безусловно, особое внимание уделяется изучению термических свойств вещества: летучести, температурам и теплотам фазовых переходов, теплоёмкостям, поскольку они являются необходимой основой для данного метода, сочетающего в себе различные термодинамические процессы. Одними из наиболее распространённых соединений, используемых в методе химического осаждения из газовой фазы, являются в-дикетонаты металлов - комплексные соединения металлов и в-дикетонов.

Эти соединения получили широкое применение для получения оксидов металлов из-за несложного синтеза с хорошим выходом, термическая стабильность, т.е. не разлагаются при сублимации. Следует отметить, что в-дикетонаты металлов не токсичны и могут долго храниться.

термическое свойство оксид скандий